Typische Schichten im Bereich dieser Anwendung enthalten meist Elemente wie:
Diese Elemente können von allen Geräten der Bowman Serien gemessen werden.
Die Wahl des Gerätes orientiert sich daher am besten an:
Bei der Ausstattung eines Gerätes sind weiter zu berücksichtigen:
Je nach Messaufgabe kommen folgende Geräte in Betracht:
Neben der Messung der Schichtdicke leisten alle Bowman Schichtdickenmessgeräte auch die Analyse der Zusammensetzung der Schicht – Ausnahmen: leichte organische Elemente oder Elementgehalte unterhalb der Nachweisgrenze der jeweiligen Messanordnung. Die Bestimmung der Elemente der Schicht – meist handelt es sich um metallische Elemente oder Legierungen – erfolgt zeitgleich mit der Messung der Schichtdicke.
Die Analyse der Legierung ist also einfach handhabbar, zuverlässig im Ergebnis und schnell in der Umsetzung. In der Anwendung (Kalibrierung) wird diese Messaufgabe entsprechend mit hinterlegt.
Bei Bowman Geräten mit programmierbarem XY-Tisch – P, L, O, M, W-Serie – können die einprogrammierten Messpunkte ebenfalls der Anwendung (Kalibrierung) zugeordnet werden. Ebenso sind aber auch das linienförmige oder netzförmige Abrastern oder das linienförmige unterbrechungsfreie Scannen möglich.
Übersichtliche Darstellungen der Bedienoberfläche für die Tagesroutine, leicht durch den Nutzer selbst zu erstellende Kalibrierungen und Anwendungen, erweiterte Funktionalitäten für Vielnutzer, ein anpassbarer 1-Click Berichtsgenerator sowie Datenexporte im PDF- oder CSV-Format, sind nur einige Merkmale, die die Bedienung des Bowman für jeden Anwender leicht, flexibel und umfassend einsetzbar machen.
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