Entsprechend den Möglichkeiten der Röntgenfluoreszenzanalyse RFA gibt es zwei Arten von RFA Geräten. Geräte für die energiedispersive Röntgenfluoreszenz EDRFA arbeiten mit niedrigeren Röhrenleistungen mit Anregungsspannungen von 30kV bis 60kV, wobei 60kV nur wenige Anbieter wie beispielsweise Rigaku im Angebot haben.

Aktuell kommen im Wesentlichen als Detektoren SiPIN und SDD Detektoren zum Einsatz, wobei die SDD Detektoren die bessere Auflösung bieten. Nur noch vereinzelt gibt es Geräte mit sogenannten Proportionalzählrohren, die gegenüber SiPIN und SDD Detektoren eine deutlich schlechtere Auflösung bieten.

Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzgeräte WDRFA arbeiten zumeist mit höheren Leistungen. Dabei gibt es Tischgeräte wie das Rigaku Supermini200, das mit maximal 200 Watt Röhrenleistung auskommt und daher auf eine aufwändige Wasserkühlung verzichten kann, weshalb es eben auch als Tischgerät mit entsprechend kleinem Fingerprint geliefert wird. Ebenso gibt es aber auch Geräte, die bis 4 kW Röhrenleistungen einsetzen und damit entsprechende Aggregate für die Kühlung benötigen. Diese sind große Standgeräte und gegenüber den EDRFA-Geräten deutlich höher im Preis.  WDRFA-Geräte ermöglichen niedrigere Nachweisgrenzen im Vergleich zu EDRFA-Geräten