Die RFA ist in der Industrie weltweit zu einer beliebten Analysetechnik geworden, ebenso im akademischen Bereich und der Grundlagenforschung. Die Technik ist einfach, schnell und zerstörungsfrei.

Bei der Röntgenfluoreszenz (XRF) wird ein Elektron

nach Absorption von Röntgenstrahlen (Photonen) aus einer Röntgenröhre aus seinem Atomorbital gestoßen. Wenn ein Elektron eines inneren Orbitals ausgestoßen wird, wird die Elektronenlücke von einem Elektron höherer Energie wieder aufgefüllt. Während dieses Vorgangs wird ein Photon definierter Energie und Wellenlänge ausgestoßen, welches charakteristisch für den jeweiligen Atomtyp ist.

Die Anzahl der Photonen pro Zeiteinheit (Anzahl pro Sekunde oder cps [counts per second]) ist proportional zu der Menge des jeweiligen Elements in der Probe. Qualitative und quantitative Elementanalysen werden so mittels Energiebestimmung der Röntgenpeaks bei der energiedispersiven Röntgenfluoreszenz in einem Probenspektrum und mittels Messung der jeweiligen Zählraten erlangt. Bei der wellenlängendispersiven Röntgenfluoreszenz werden über die Lage und Höhe des Röntgenpeaks im Wellenlängenspektrum Element und Gehalt in der Probe bestimmt.

Rigaku bietet Geräte für energiedispersive wie auch wellenlängendispersive an.